Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors

Olthoff J. K; Roberts J. R; Van-Brunt R. J; Whetstone J. R; Sobolewski M. A; Djurović Stevica

Резултати

еНаука > Резултати > Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors

Назив:	Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors
Аутори:	Olthoff J. K; Roberts J. R; Van-Brunt R. J; Whetstone J. R; Sobolewski M. A; Djurović Stevica
Година:	1991
Публикација:	Process Module Metrology, Control, and Clustering, Process Module Metrology, Control, and Clustering, San Hose, USA, 1991
Тип резултата:	Конференцијски рад
Колација:	str. 168-178
URI:	https://www.cris.uns.ac.rs/record.jsf?recordId=7513&source=eNauka&language=en https://enauka.gov.rs/handle/123456789/587007 https://cris.uns.ac.rs/en/scientific-results/proceedings-publication/34921
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.