Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors

Olthoff J. K; Roberts J. R; Van-Brunt R. J; Whetstone J. R; Sobolewski M. A; Djurović Stevica

Rezultati

eNauka > Rezultati > Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors

Naziv:	Mass Spectrometric and Optical Emission Diagnostics for RF Plasma Reactors
Autori:	Olthoff J. K; Roberts J. R; Van-Brunt R. J; Whetstone J. R; Sobolewski M. A; Djurović Stevica
Godina:	1991
Publikacija:	Process Module Metrology, Control, and Clustering, Process Module Metrology, Control, and Clustering, San Hose, USA, 1991
Tip rezultata:	Konferencijski rad
Kolacija:	str. 168-178
URI:	https://www.cris.uns.ac.rs/record.jsf?recordId=7513&source=eNauka&language=en https://enauka.gov.rs/handle/123456789/587007 https://cris.uns.ac.rs/en/scientific-results/proceedings-publication/34921
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.