Резултати
еНаука >
Резултати >
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka
| Назив: | Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100>compensation beams |
Аутори: | Jović, Vesna; Lamovec, Jelena   ; Mladenović, Ivana ; Smiljanić, Milče ; Lazić, Žarko |
Година: | 2013 | Публикација: | Proceedings - 57th ETRAN Conference, 03-06.06.2013, Zlatibor, Serbia | Издавач: | Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-80509-68-6  Претражи идентификатор |
Колација: | br. MO 3.4 str. 1-5 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/597702 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5743 |
Пројекат: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM