Results
eNauka >
Results >
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka
| Title: | Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100>compensation beams |
Authors: | Jović, Vesna; Lamovec, Jelena   ; Mladenović, Ivana ; Smiljanić, Milče ; Lazić, Žarko |
Issue Date: | 2013 | Publication: | Proceedings - 57th ETRAN Conference, 03-06.06.2013, Zlatibor, Serbia | Publisher: | Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku | Type: | Conference Paper | ISBN: | 978-86-80509-68-6  Search Idenfier |
Collation: | br. MO 3.4 str. 1-5 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/597702 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5743 |
Project: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | M-category: | Mp. category will be shown later |
Google ScholarTM