Резултати
еНаука >
Резултати >
A comparison of different convex corner compensation strucutures applicable in anisotropic wet chemical etching of {100} oriented silicon
| Назив: | A comparison of different convex corner compensation strucutures applicable in anisotropic wet chemical etching of {100} oriented silicon | Аутори: | Jović, Vesna  ; Lamovec, Jelena  ; Smiljanić, Milče M. ; Lazić, Žarko ; Popović, Bogdan ; Poljak, Predrag |
Година: | 2016 | Публикација: | Proceedings - 7th International scientific conference on defensive technologies-proceedings, OTEH 2016, Belgrade, Serbia | Издавач: | Belgrade : The Military Technical Institute | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-81123-82-9  Претражи идентификатор |
URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5775 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/597719 |
Пројекат: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM