Rezultati
eNauka >
Rezultati >
A comparison of different convex corner compensation strucutures applicable in anisotropic wet chemical etching of {100} oriented silicon
| Naziv: | A comparison of different convex corner compensation strucutures applicable in anisotropic wet chemical etching of {100} oriented silicon | Autori: | Jović, Vesna  ; Lamovec, Jelena  ; Smiljanić, Milče M. ; Lazić, Žarko ; Popović, Bogdan ; Poljak, Predrag |
Godina: | 2016 | Publikacija: | Proceedings - 7th International scientific conference on defensive technologies-proceedings, OTEH 2016, Belgrade, Serbia | Izdavač: | Belgrade : The Military Technical Institute | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-81123-82-9  Pretraži identifikator |
URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5775 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/597719 |
Projekat: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM