Creation of silicon submicron structures by compression plasma flow action

Results

Назив:	Creation of silicon submicron structures by compression plasma flow action
Аутори:	Purić, Jagoš ; Astashynski, Valentin M.; Dojčinović, Ivan ; Kuraica, Milorad
Година:	2004
Публикација:	Vacuum
ISSN:	0042-207X Vacuum Претражи идентификатор
Тип резултата:	Конференцијски рад
Колација:	vol. 73 br. 3-4 str. 561-566
DOI:	10.1016/j.vacuum.2003.12.087
WoS-ID:	000220928900037
Scopus-ID:	2-s2.0-1842582444
URI:	https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/317 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/606621
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

14
SCOPUS^TM

14
OpenCitations

19
WEB OF SCIENCE^TM

Altmetric

Dimensions

Unpaywall

Google Scholar^TM