Резултати

еНаука >  Резултати >  Real-time plasma control in a dual-frequency, confined plasma etcher
Назив: Real-time plasma control in a dual-frequency, confined plasma etcher
Аутори: Milosavljević, Vladimir  ; Ellingboe, A. R.; Gaman, C.; Ringwood, J. V.
Година: 2008
Публикација: Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979 Journal of Applied Physics Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 103 br. 8
DOI: 10.1063/1.2903137
WoS-ID: 000255456200027
Scopus-ID: 2-s2.0-43049151474
URI: https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/599
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/606650
М-категорија: 
21M21 - Рад у врхунском међ. часопису

11
SCOPUSTM
8
OpenCitations
6
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions

Пронађи DOI
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.