Резултати
еНаука >
Резултати >
Optimization of plasma etch rate of deposited thin films by adaptive neuro fuzzy inference system
| Назив: | Optimization of plasma etch rate of deposited thin films by adaptive neuro fuzzy inference system | Аутори: | Petrovic, Nikola |
Година: | 2022 | Публикација: | The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | ISSN: | 0268-3768 International Journal of Advanced Manufacturing Technology Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 123 br. 1-2 str. 111-118 | DOI: | 10.1007/s00170-022-10198-z | WoS-ID: | 000857809900001 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85138733374 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/761724 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz CrossRef-a) Petrovic, Nikola | М-категорија: | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.