Резултати
eNauka >
Rezultati >
Optimization of plasma etch rate of deposited thin films by adaptive neuro fuzzy inference system
| Naziv: | Optimization of plasma etch rate of deposited thin films by adaptive neuro fuzzy inference system | Autori: | Petrovic, Nikola   |
Godina: | 2022 | Publikacija: | The International Journal of Advanced Manufacturing Technology | ISSN: | 0268-3768 International Journal of Advanced Manufacturing Technology Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 123 br. 1-2 str. 111-118 | DOI: | 10.1007/s00170-022-10198-z | WoS-ID: | 000857809900001 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85138733374 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/761724 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz CrossRef-a) Petrovic, Nikola | M-kategorija: | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.