Резултати
еНаука >
Резултати >
The role of non-equilibrium plasmas and micro-discharges in top down nanotechnologies and selforganized assembly of nanostructures
Назив: | The role of non-equilibrium plasmas and micro-discharges in top down nanotechnologies and selforganized assembly of nanostructures | Аутори: | Petrović, Z.Lj.; Malović, G. ; Radmilović-Radjenović, M. ; Puač, N. ; Marić, D.; Maguire, P.; Mahony, C. | Година: | 2006 | Публикација: | 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS | Издавач: | 2006 25th International Conference on Microelectronics, MIEL 2006 - Proceedings | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 39-46 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2006.1650893 | WoS-ID: | 000238839700006 | Scopus-ID: | 2-s2.0-77956548030 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/773761 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz ORCID-a) Puac, Nevena | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.