Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures

Stojkovic, A.; Nikitovic, Z.; Strinic, A.; Stojanovic, V.; Radjenovic, Radmilovic M.; Petrovic, Z. Lj.

Rezultati

eNauka > Rezultati > Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures

Naziv:	Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures
Autori:	Stojkovic, A.; Nikitovic, Z. ; Strinic, A. ; Stojanovic, V.; Radjenovic, Radmilovic M. ; Petrovic, Z. Lj.
Godina:	2005
Publikacija:	The Seventh Yugoslav Materials Research Society Conference “YUCOMAT”, Book of Abstracts, Editor: Prof. dr Dragan P. Uskoković 12-16 September 2005, Herceg-Novi, Serbia and Montenegro (2005) [P.S.C.24.] 150
Tip rezultata:	Konferencijski rad
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/782131
URL:	https://www.mrs-serbia.org.rs/index.php/y2005/y2005b
Izvor metapodataka:	(Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.