Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures

Stojkovic, A.; Nikitovic, Z.; Strinic, A.; Stojanovic, V.; Radjenovic, Radmilovic M.; Petrovic, Z. Lj.

Резултати

еНаука > Резултати > Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures

Назив:	Modelling of a plasma etcher for charging free processing of nanoscale structures
Аутори:	Stojkovic, A.; Nikitovic, Z. ; Strinic, A. ; Stojanovic, V.; Radjenovic, Radmilovic M. ; Petrovic, Z. Lj.
Година:	2005
Публикација:	The Seventh Yugoslav Materials Research Society Conference “YUCOMAT”, Book of Abstracts, Editor: Prof. dr Dragan P. Uskoković 12-16 September 2005, Herceg-Novi, Serbia and Montenegro (2005) [P.S.C.24.] 150
Тип резултата:	Конференцијски рад
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/782131
URL:	https://www.mrs-serbia.org.rs/index.php/y2005/y2005b
Извор метаподатака:	(Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.