Dynamic of the profile charging in two frequency plasma etching of SiO2

Radjenovic, B.; Radjenovic, Radmilovic M.; Petrovic, Z. Lj.; Nikitovic, Z.

Резултати

еНаука > Резултати > Dynamic of the profile charging in two frequency plasma etching of SiO2

Назив:	Dynamic of the profile charging in two frequency plasma etching of SiO2
Аутори:	Radjenovic, B.; Radjenovic, Radmilovic M. ; Petrovic, Z. Lj.; Nikitovic, Z.
Година:	2007
Публикација:	The Ninth Yugoslav Materials Research Society Conference “YUCOMAT”, Book of Abstracts, Editor: Prof. dr Dragan P. Uskoković 10-14 September 2007, Herceg-Novi, Montenegro (2007) [P.S.B.11] 109
Тип резултата:	Конференцијски рад
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/782285
URL:	https://dais.sanu.ac.rs/bitstream/id/19963/126.pdf
Извор метаподатака:	(Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.