Резултати
еНаука >
Резултати >
3D simulations of the profile evolution during anisotropic wet etching of silicon
| Назив: | 3D simulations of the profile evolution during anisotropic wet etching of silicon | Аутори: | Radjenovic, Branislav M |
Година: | 2009 | Публикација: | THIN SOLID FILMS | ISSN: | 0040-6090 Thin Solid Films Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | vol. 517 br. 14 str. 4233-4237 | DOI: | 10.1016/j.tsf.2009.02.007 | WoS-ID: | 000266696100102 | Scopus-ID: | 2-s2.0-65449147558 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/796778 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.