Rezultati

eNauka >  Rezultati >  3D simulations of the profile evolution during anisotropic wet etching of silicon
Naziv: 3D simulations of the profile evolution during anisotropic wet etching of silicon
Autori: Radjenovic, Branislav M  ; Radmilovic-Radjenovic, Marija D  
Godina: 2009
Publikacija: THIN SOLID FILMS
ISSN: 0040-6090 Thin Solid Films Pretraži identifikator
Tip rezultata: Konferencijski rad
Kolacija: vol. 517 br. 14 str. 4233-4237
DOI: 10.1016/j.tsf.2009.02.007
WoS-ID: 000266696100102
Scopus-ID: 2-s2.0-65449147558
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/796778
Izvor metapodataka: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

20
SCOPUSTM
18
OpenCitations
21
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Google ScholarTM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.