Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Negative ions in single and dual frequency capacitively coupled fluorocarbon plasmas
| Naziv: | Negative ions in single and dual frequency capacitively coupled fluorocarbon plasmas | Autori: | Curley, GA; Marić, Dragana |
Godina: | 2007 | Publikacija: | PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY | ISSN: | 0963-0252 Plasma Sources Science and Technology Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 16 br. 1 str. S87-S93 | DOI: | 10.1088/0963-0252/16/1/S09 | WoS-ID: | 000244370700011 | Scopus-ID: | 2-s2.0-33947635106 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/797876 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21 |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.