Резултати

еНаука >  Резултати >  Negative ions in single and dual frequency capacitively coupled fluorocarbon plasmas
Назив: Negative ions in single and dual frequency capacitively coupled fluorocarbon plasmas
Аутори: Curley, GA; Marić, Dragana  ; Booth, JP; Corr, CS; Chabert, P; Guillon, J
Година: 2007
Публикација: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
ISSN: 0963-0252 Plasma Sources Science and Technology Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 16 br. 1 str. S87-S93
DOI: 10.1088/0963-0252/16/1/S09
WoS-ID: 000244370700011
Scopus-ID: 2-s2.0-33947635106
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/797876
Извор метаподатака: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
М-категорија: 
21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21

44
SCOPUSTM
44
OpenCitations
44
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.