Rezultati
| Naziv: | On the Role of Radicals in Kinetics of Plasma Etchers in Ar/CF4 Mixtures | Autori: | Nikitovic, Zeljka D   ; Stojanovic, Vladimir D; Petrovic, Zoran Lj |
Godina: | 2009 | Publikacija: | ACTA PHYSICA POLONICA A | ISSN: | 0587-4246 Acta Physica Polonica. Series A: General Physics, Physics of Condensed Matter, Optics and Quantum Electronics, Atomic and Molecular Physics, Applied Physics Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 115 br. 4 str. 765-767 | WoS-ID: | 000265755200002 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/805095 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 23M23 - Međunarodni časopis kategorije M23 |
7
WEB OF SCIENCETM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.