Резултати
| Назив: | On the Role of Radicals in Kinetics of Plasma Etchers in Ar/CF4 Mixtures | Аутори: | Nikitovic, Zeljka D   ; Stojanovic, Vladimir D; Petrovic, Zoran Lj |
Година: | 2009 | Публикација: | ACTA PHYSICA POLONICA A | ISSN: | 0587-4246 Acta Physica Polonica. Series A: General Physics, Physics of Condensed Matter, Optics and Quantum Electronics, Atomic and Molecular Physics, Applied Physics Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 115 br. 4 str. 765-767 | WoS-ID: | 000265755200002 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/805095 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 23M23 - Међународни часопис категорије M23 |
7
WEB OF SCIENCETM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.