Резултати
| Назив: | Electron kinetics in plasma etching devices containing carbon tetrafluoride | Аутори: | Dujko, Sasa   ; Raspopović, Zoran ; Petrovic, Zoran Lj |
Година: | 2002 | Публикација: | APPLIED PHYSICS IN SERBIA-APS | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 245-248 | WoS-ID: | 000188097800046 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/810474 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.