Rezultati
| Naziv: | Electron kinetics in plasma etching devices containing carbon tetrafluoride | Autori: | Dujko, Sasa   ; Raspopović, Zoran ; Petrovic, Zoran Lj |
Godina: | 2002 | Publikacija: | APPLIED PHYSICS IN SERBIA-APS | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. 245-248 | WoS-ID: | 000188097800046 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/810474 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.