Резултати
eNauka >
Rezultati >
Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma
| Naziv: | Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma | Autori: | Kitajima, T; Takeo, Y; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki |
Godina: | 2000 | Publikacija: | APPLIED PHYSICS LETTERS | ISSN: | 0003-6951 Applied Physics Letters Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 77 br. 4 str. 489-491 | DOI: | 10.1063/1.127020 | WoS-ID: | 000088225400010 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0001480674 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/822114 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 21a+M21a+ - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21a+ |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.