Резултати

еНаука >  Резултати >  Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma
Назив: Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma
Аутори: Kitajima, T; Takeo, Y; Petrovic, Zoran Lj  ; Makabe, Toshiaki
Година: 2000
Публикација: APPLIED PHYSICS LETTERS
ISSN: 0003-6951 Applied Physics Letters Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 77 br. 4 str. 489-491
DOI: 10.1063/1.127020
WoS-ID: 000088225400010
Scopus-ID: 2-s2.0-0001480674
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/822114
Извор метаподатака: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
М-категорија: 
21a+M21a+ - Водећи међународни часопис категорије M21a+

235
SCOPUSTM
215
OpenCitations
237
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.