Резултати
| Назив: | Neutralization of ion beams for reduction of charging damage in plasma etching | Аутори: | Stojkovic, Aleksandra M   ; Radmilovic-Radjenovic, Marija D ; Petrovic, Zoran Lj |
Година: | 2005 | Публикација: | CURRENT RESEARCH IN ADVANCED MATERIALS AND PROCESSES | ISSN: | 0255-5476 Materials Science Forum Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 494 str. 297-302 | WoS-ID: | 000230985800049 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/825624 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 22M22 - Рад у истакнутом међ. часопису |
7
WEB OF SCIENCETM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.