Rezultati
| Naziv: | Neutralization of ion beams for reduction of charging damage in plasma etching | Autori: | Stojkovic, Aleksandra M   ; Radmilovic-Radjenovic, Marija D ; Petrovic, Zoran Lj |
Godina: | 2005 | Publikacija: | CURRENT RESEARCH IN ADVANCED MATERIALS AND PROCESSES | ISSN: | 0255-5476 Materials Science Forum Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 494 str. 297-302 | WoS-ID: | 000230985800049 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/825624 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |
7
WEB OF SCIENCETM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.