Резултати
| Title: | Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma | Authors: | Hioki, K; Hirata, H; Matsumura, S; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki |
Issue Date: | 2000 | Publication: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | ISSN: | 0734-2101 Journal of Vacuum Science and Technology. A Search Idenfier |
Type: | Article | Collation: | vol. 18 br. 3 str. 864-872 | DOI: | 10.1116/1.582268 | WoS-ID: | 000087118000012 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0034187677 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/832548 | Metadata source: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-category: | 21M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.