Резултати
| Назив: | Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma | Аутори: | Hioki, K; Hirata, H; Matsumura, S; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki |
Година: | 2000 | Публикација: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | ISSN: | 0734-2101 Journal of Vacuum Science and Technology. A Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 18 br. 3 str. 864-872 | DOI: | 10.1116/1.582268 | WoS-ID: | 000087118000012 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0034187677 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/832548 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.