Results
| Naziv: | Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma | Autori: | Hioki, K; Hirata, H; Matsumura, S; Petrovic, Zoran Lj   ; Makabe, Toshiaki |
Godina: | 2000 | Publikacija: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | ISSN: | 0734-2101 Journal of Vacuum Science and Technology. A Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 18 br. 3 str. 864-872 | DOI: | 10.1116/1.582268 | WoS-ID: | 000087118000012 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0034187677 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/832548 | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | 21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21 |
Items in eNauka are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.