Резултати
| Назив: | Modeling of plasmas for dry etching in ULSI technologies | Аутори: | Petrovic, Z.Lj.; Sakadzic, S.; Raspopović, Zoran   ; Makabe, T. |
Година: | 1999 | Публикација: | 2000 22nd International Conference on Microelectronics, MIEL 2000 - Proceedings | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 0780352351, 978-078035235-3 ИСБН није валидан Претражи идентификатор |
Колација: | vol. 2 str. 433-436 | DOI: | 10.1109/icmel.2000.838726 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0033297973 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/852761 | URL: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0033297973&partnerID=MN8TOARS | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz ORCID-a) Raspopović, Zoran | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.