Rezultati
| Naziv: | Modeling of plasmas for dry etching in ULSI technologies | Autori: | Petrovic, Z.Lj.; Sakadzic, S.; Raspopović, Zoran   ; Makabe, T. |
Godina: | 1999 | Publikacija: | 2000 22nd International Conference on Microelectronics, MIEL 2000 - Proceedings | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 0780352351, 978-078035235-3 ИСБН није валидан Pretraži identifikator |
Kolacija: | vol. 2 str. 433-436 | DOI: | 10.1109/icmel.2000.838726 | Scopus-ID: | 2-s2.0-0033297973 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/852761 | URL: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0033297973&partnerID=MN8TOARS | Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz ORCID-a) Raspopović, Zoran | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.