Резултати
еНаука >
Резултати >
Influence of As ions implantation on electrical resistivity of TiN/Ti/Si structures
| Назив: | Influence of As ions implantation on electrical resistivity of TiN/Ti/Si structures | Аутори: | Peruško, Davor   ; Milosavljević, M.; Radović, Ivan ; Milinović, V.; Bibić, Nataša |
Година: | 2002 | Публикација: | SPIG 2002 : 21st Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases : Contributed papers & abstracts of invited lectures, topical invited lectures, progress reports and workshop lectures | Издавач: | Niš : University of Niš, Faculty of Sciences and Mathematics - Department of Physics | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 86-83481-07-7  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 242-245 | URI: | https://vinar.vin.bg.ac.rs/handle/123456789/12855 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/894100 |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.