Резултати
еНаука >
Резултати >
Global search algorithms in an automated design of starting points for a deep-UV lithography objective
| Назив: | Global search algorithms in an automated design of starting points for a deep-UV lithography objective | Аутори: | Zoric, Nenad; Nie, Yunfeng; Thibault, Simon; Prodanovic, Radomir; Thomas, Lijo | Година: | 2024 | Публикација: | APPLIED OPTICS | ISSN: | 1559-128X Applied Optics Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 63 br. 26 str. 6960-6960 | DOI: | 10.1364/AO.532057 | WoS-ID: | 001314821900005 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85204337983 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/938508 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.