Резултати
еНаука >
Резултати >
Silicon selective etching by gold implantation: Feasibility and nanofabrication capabilities
| Назив: | Silicon selective etching by gold implantation: Feasibility and nanofabrication capabilities | Аутори: | Scattolo, E; Cian, A; Llobet, J; Nogue, X Borrise; Mondal, S; Barozzi, M; Bagolini, A; Crivellari, M; Perez, Murano F; Giubertoni, D | Година: | 2025 | Публикација: | MICRO AND NANO ENGINEERING | ISSN: | 2590-0072 MICRO AND NANO ENGINEERING Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 28 str. 100308-100308 | DOI: | 10.1016/j.mne.2025.100308 | WoS-ID: | 001527042000002 | Scopus-ID: | 2-s2.0-105009462874 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/992542 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.