Резултати

eNauka >  Results >  Silicon selective etching by gold implantation: Feasibility and nanofabrication capabilities
Title: Silicon selective etching by gold implantation: Feasibility and nanofabrication capabilities
Authors: Scattolo, E; Cian, A; Llobet, J; Nogue, X Borrise; Mondal, S; Barozzi, M; Bagolini, A; Crivellari, M; Perez, Murano F; Giubertoni, D
Issue Date: 2025
Publication: MICRO AND NANO ENGINEERING
ISSN: 2590-0072 MICRO AND NANO ENGINEERING Search Idenfier
Type: Article
Collation: vol. 28 str. 100308-100308
DOI: 10.1016/j.mne.2025.100308
WoS-ID: 001527042000002
Scopus-ID: 2-s2.0-105009462874
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/992542
Metadata source: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
M-category: 
21M21

1
SCOPUSTM
1
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.