Резултати
еНаука >
Резултати >
The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO<sub>2</sub> Etching Profile Evolution
| Назив: | The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO&lt;sub&gt;2&lt;/sub&gt; Etching Profile Evolution | Аутори: | Rađenović, Branislav   ; Radmilović-Rađenović, Marija |
Година: | 2014 | Публикација: | Engineering | ISSN: | 1947-3931  Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 06 br. 01 str. 1-6 | DOI  : | 10.4236/eng.2014.61001 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/298090 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.