Rezultati

eNauka >  Rezultati >  The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO<sub>2</sub> Etching Profile Evolution
Naziv: The Implementation of the Surface Charging Effects in Three-Dimensional Simulations of SiO<sub>2</sub> Etching Profile Evolution
Autori: Rađenović, Branislav  ; Radmilović-Rađenović, Marija  
Godina: 2014
Publikacija: Engineering
ISSN: 1947-3931 Pretraži identifikator
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 06 br. 01 str. 1-6
DOI : 10.4236/eng.2014.61001
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/298090
Izvor metapodataka: Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

10
OpenCitations
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.