Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher

Milosavljević, Vladimir; MacGearailt, Niall; Cullen, P. J.; Daniels, Stephen; Turner, Miles M.

Резултати

еНаука > Резултати > Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher

Назив:	Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Аутори:	Milosavljević, Vladimir ; MacGearailt, Niall; Cullen, P. J.; Daniels, Stephen; Turner, Miles M.
Година:	2013
Публикација:	Journal of Applied Physics
ISSN:	0021-8979 Journal of Applied Physics Претражи идентификатор
Тип резултата:	Научни чланак
Колација:	vol. 113 br. 16 str. 163302-163302
DOI:	10.1063/1.4802440
WoS-ID:	000318550300010
Scopus-ID:	2-s2.0-84877313629
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/375647 https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/578
Извор метаподатака:	Migracija
М-категорија:	21M21 - Рад у врхунском међ. часопису

7
SCOPUS^TM

8
OpenCitations

5
WEB OF SCIENCE^TM

Алт метрика

Dimensions

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.