Резултати

еНаука >  Резултати >  Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Назив: Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Аутори: Milosavljević, Vladimir  ; MacGearailt, Niall; Cullen, P. J.; Daniels, Stephen; Turner, Miles M.
Година: 2013
Публикација: Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979 Journal of Applied Physics Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 113 br. 16 str. 163302-163302
DOI: 10.1063/1.4802440
WoS-ID: 000318550300010
Scopus-ID: 2-s2.0-84877313629
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/375647
https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/578
Извор метаподатака: Migracija
М-категорија: 
21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21

8
SCOPUSTM
8
OpenCitations
6
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.