Rezultati

eNauka >  Rezultati >  Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Naziv: Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Autori: Milosavljević, Vladimir  ; MacGearailt, Niall; Cullen, P. J.; Daniels, Stephen; Turner, Miles M.
Godina: 2013
Publikacija: Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979 Journal of Applied Physics Pretraži identifikator
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 113 br. 16 str. 163302-163302
DOI: 10.1063/1.4802440
WoS-ID: 000318550300010
Scopus-ID: 2-s2.0-84877313629
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/375647
https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/578
Izvor metapodataka: Migracija
M-kategorija: 
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21

8
SCOPUSTM
8
OpenCitations
6
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.