Резултати

eNauka >  Results >  Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Title: Phase-resolved optical emission spectroscopy for an electron cyclotron resonance etcher
Authors: Milosavljević, Vladimir  ; MacGearailt, Niall; Cullen, P. J.; Daniels, Stephen; Turner, Miles M.
Issue Date: 2013
Publication: Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979 Journal of Applied Physics Search Idenfier
Type: Article
Collation: vol. 113 br. 16 str. 163302-163302
DOI: 10.1063/1.4802440
WoS-ID: 000318550300010
Scopus-ID: 2-s2.0-84877313629
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/375647
https://physrep.ff.bg.ac.rs/handle/123456789/578
Metadata source: Migracija
M-category: 
21M21

8
SCOPUSTM
8
OpenCitations
6
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.