Резултати
еНаука >
Резултати >
Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures
![](https://cdn3.iconfinder.com/data/icons/flat-actions-icons-9/512/Tick_Mark-256.png)
Назив: | Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures | Аутори: | M. Radmilović-Radjenović ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
Година: | 2006 | Публикација: | Materials Science Forum | ISSN: | 0255-5476![]() ![]() |
Издавач: | Trans Tech Publications, Ltd. | Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 518 str. 57-62 | DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.518.57 | WoS-ID: | 000239351800010 | Scopus-ID: | 2-s2.0-37849001696 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/769241 | Извор метаподатака: | (Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka | М-категорија: | 23M23 - Рад у међ. часопису |
![](/image/scopus.png)
SCOPUSTM
![](/image/opencitations.png)
OpenCitations
![](/image/wos.png)
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.