Резултати
| Title: | Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures | Authors: | M. Radmilović-Radjenović   ; Nina, Aleksandra ; Strinić, Aleksandra ; V. Stojanović; Željka Nikitović ; Malović, Gordana ; Z.Lj. Petrović |
Issue Date: | 2006 | Publication: | Materials Science Forum | ISSN: | 0255-5476 Materials Science Forum Search Idenfier |
Publisher: | Trans Tech Publications, Ltd. | Type: | Article | Collation: | vol. 518 str. 57-62 | DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.518.57 | WoS-ID: | 000239351800010 | Scopus-ID: | 2-s2.0-37849001696 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/769241 | Metadata source: | (Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka | M-category: | 22M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.