Rezultati

eNauka >  Rezultati >  Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures
Naziv: Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures
Autori: M. Radmilović-Radjenović  ; Nina, Aleksandra  ; Strinić, Aleksandra  ; V. Stojanović; Željka Nikitović  ; Malović, Gordana  ; Z.Lj. Petrović
Godina: 2006
Publikacija: Materials Science Forum
ISSN: 0255-5476 Materials Science Forum Pretraži identifikator
Izdavač: Trans Tech Publications, Ltd.
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 518 str. 57-62
DOI: 10.4028/www.scientific.net/msf.518.57
WoS-ID: 000239351800010
Scopus-ID: 2-s2.0-37849001696
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/769241
Izvor metapodataka: (Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka
M-kategorija: 
23M23 - Rad u međ. časopisu

3
SCOPUSTM
1
OpenCitations
2
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions

Pronađi DOI
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.