Резултати

еНаука >  Резултати >  Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures
Назив: Modeling of a Plasma Etcher for Charging Free Processing of Nanoscale Structures
Аутори: M. Radmilović-Radjenović  ; Nina, Aleksandra  ; Strinić, Aleksandra  ; V. Stojanović; Željka Nikitović  ; Malović, Gordana  ; Z.Lj. Petrović
Година: 2006
Публикација: Materials Science Forum
ISSN: 0255-5476 Materials Science Forum Претражи идентификатор
Издавач: Trans Tech Publications, Ltd.
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 518 str. 57-62
DOI: 10.4028/www.scientific.net/msf.518.57
WoS-ID: 000239351800010
Scopus-ID: 2-s2.0-37849001696
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/769241
Извор метаподатака: (Preuzeto iz ORCID-a) Nikitovic, Zeljka
М-категорија: 
22M22 - Међународни часопис категорије M22

3
SCOPUSTM
1
OpenCitations
2
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.